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洁净室常用防倒灌措施
发布时间:2021/12/13 17:03:00
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为防止
洁净室
外的气流倒灌流入室内,引起污染和积尘,常用防倒灌措施。
⑴设置中效过滤器;
⑵采用止回阀,使用方便但密封性较差;
⑶采用密闭阀、密封性好,但结构复杂;
⑷采用自控装置等。
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